ポリイミドダイアフラムで封止した磁性流体によって駆動するMEMSアクチュエータの基礎検討

抄録

今日では大きな変位が出力できるMEMS磁性薄膜アクチュエータは少ないので、私たちは二枚の薄膜のポリイミドダイアフラムで磁性流体を挟み込む構造によって、大きな変位が出力できるアクチュエータを考案した。電磁コイルで磁場をかけたときの変位量、応答時間を測定した。ダイアフラム膜の変位は数25μmでした。最大変位の90％に達するまでの応答時間は約3秒でした。