超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタの研究

座間 雄大; 本田 智

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.711.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: I20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.711.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタの研究

*座間雄大, 本田智

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キーワード: 多孔質フィルタ, MEMS, 超極細ワイヤ, フロロカーボン線, ナイロン線, 巻き線装置

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抄録

線径200μmの超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタを考案・開発した．このマイクロ多針フィルタは多数本のフロロカーボン線とナイロン線を束ねて接合し，その後ナイロン線を除去することで，深さの等しい円筒垂直フィルタ孔を製作したもので，本研究では，このマイクロ多針フィルタの構造／製作方法，および，ろ過性能について実験的／解析的に解明／評価したので，その結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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