超極細ワイヤを用いたマイクロ斜歯歯車の研究

三浦 宗也; 本田 智

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.709.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: I19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.709.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

超極細ワイヤを用いたマイクロ斜歯歯車の研究

*三浦宗也, 本田智

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キーワード: MEMS, マイクロ歯車, はすば歯車, 超極細ワイヤ, 巻き線機, 半田付け

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抄録

線径が50μｍの超極細ワイヤーを用いてモジュールｍ＝31.83μｍ（ピッチが100μｍ）のマイクロはすば歯車を考案し，専用の巻き線機を開発して種々マイクロ斜歯歯車を製作した．本研究では，このマイクロはすば歯車の歯形形状，歯の接触位置，および，歯車の噛み合いについて理論的／実験的に解析／評価したので，その結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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