ドラム式電着ダイヤモンドワイヤ製造装置の開発

抄録

電着ダイヤモンドワイヤは、シリコンやサファイア等の各種硬脆材料の切断加工に広く利用されている．現状の電着ダイヤモンドワイヤの製造法は，生産速度が遅くて生産コストが高いという問題がある．本研究ではこれらの問題を解決するため、複数本のワイヤを同時に製造できるドラム式電着ダイヤモンドワイヤ製造装置を開発した．ドラム装置の回転部のフィン形状と回転方向がダイヤモンド分布に与える影響を検討した．開発したドラム式ワイヤ製造装置は高速度にダイヤモンドワイヤ工具を製造できることがわかった．