マルチワイヤソーに用いるワイヤ工具の摩耗特性に関する研究

抄録

本研究では，太陽電池の基板であるシリコンウエハのスライシングに用いられる遊離砥粒方式のマルチワイヤソーにおいて，加工中に生じるワイヤ工具の摩耗のメカニズムを明らかにすることを目指している．本報告では，加工条件が摩耗後のワイヤ工具の摩耗状態に与える影響や摩耗後のワイヤ工具の摩耗形状がワイヤ工具の強度に与える影響について観察し，ワイヤ工具の断線を防止できるような加工条件の検討を行った結果を述べる．