細胞形態イメージングのためのナノニードルアレイ搭載型多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発

松ヶ瀬 智哉; 田中 一匡; 川島 貴弘; 永井 萌土; 柴田 隆行; 峯田 貴; 牧野 英司

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.91.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: A78

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.91.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

細胞形態イメージングのためのナノニードルアレイ搭載型多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発

*松ヶ瀬智哉, 田中一匡, 川島貴弘, 永井萌土, 柴田隆行, 峯田貴, 牧野英司

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キーワード: 走査型イオンコンダクタンス顕微鏡（SICM）, 細胞形態イメージング, ナノニードルアレイ, バイオMEMS

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抄録

本研究では，走査型イオンコンダクタンス顕微鏡の原理を応用し，MEMS技術によって作製した中空構造を有した酸化シリコン（SiO₂）製のナノニードルアレイを用いることで，細胞の形態を高速にイメージング可能な多点同時計測イオンコンダクタンス顕微鏡の開発を行っている．本報では，電子ビームリソグラフィを用いたナノニードルアレイの作製および多点同時計測のための信号の検出方法について検討を行った．

責任著者(Corresponding author)

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