細胞機能解析のためのマイクロニードル搭載型バイオプローブの開発（第7報）

プローブ形状および作製プロセスの最適化

抄録

本研究では，原子間力顕微鏡（AFM）のプローブ先端に中空構造を有する先鋭化ナノニードルを形成することで，AFM計測機能に加えて，極微量な生体分子の注入や採取が可能となる高機能なバイオプローブの開発を目的としている．本報では，AFM計測性能に重要となる液中でのダンピング特性を数値解析の結果から評価した．また，作製プロセスの最適化を行い，マイクロ流路を一体形成したバイオプローブを試作した．