デジタル式アコースティックエミッションセンサの開発

抄録

本研究では，材料内部で変形や破壊が生じる際に発生する弾性波であるアコースティック・エミッション（AE）を非破壊かつInSituでモニタリングするためのデジタル式AEセンサの開発を行っている．本報では，デジタル検出部となるSi製カンチレバーの共振周波数のシミュレーションを行い，応答周波数100k～1MHzを有するセンサの設計を行った．また，MEMS技術を用いて試作し，その検出性能の評価を行っている．