ガス電子増幅器の故障解析手法の検討

抄録

ガス電子増幅器は、原子物理学・放射線医療・非破壊検査への応用が期待されている電子増幅器の１つであるが、まれに使用中に放電を起こし故障する事例が分かっている。本研究では、ガス電子増幅器の故障原因を解析するため走査型電子顕微鏡用の断面試料作成方法を検討した。