2ステップフーリエ変換法における色相補正による測定誤差の低減

反保 亜美; 野村 俊; 神谷 和秀; 松本 公久; 田代 発造; 鈴木 伸哉

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.993.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: M03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.993.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

2ステップフーリエ変換法における色相補正による測定誤差の低減

*反保亜美, 野村俊, 神谷和秀, 松本公久, 田代発造, 鈴木伸哉

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キーワード: 干渉じま解析, フーリエ変換, 格子投影法, 色相補正

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抄録

ノイズのある干渉縞の位相解析の手法として，キャリア周波数の異なる２枚の干渉縞をフーリエ変換し、そのスペクトルの差分を計算することで、形状成分のみを抽出する2ステップフーリエ変換法を提案し、格子投影法に応用した．しかし，色相の不均一による誤差があることが問題であった．本報告では，色相補正により測定誤差を低減した結果について報告する

責任著者(Corresponding author)

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