空間的縞解析法による二枚のスペックルパターンのみを用いたスペックル干渉計測法の開発

抄録

スペックル干渉計測技術において物体光と参照光との波面に傾きを与えることのできる特殊な干渉計を用いることによって，二枚のスペックルパターンのみを用いてスペックル干渉法に基づき縞解析を行うことができる．本研究では，この技術に空間的縞解析法を用いることによる新しい解析法を提案する．