水熱合成PZT薄膜を用いた球面型超音波トランスデューサの作製と評価

（第二報）スパッタリング法による結晶核生成の改良

抄録

スパッタリング法を用いてPZT結晶核を生成し、そのPZT結晶核を水熱合成法により結晶成長させることにより、PZT結晶の高密度化を達成した。この方法と、水熱合成による核生成を用いた従来手法によるものと、2種類の球面型超音波トランスデューサを作製し、超音波送信実験を行った。スパッタリング法によりPZT結晶核を生成したトランスデューサでは送波感度、音圧レベルの向上が確認された。