セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ 第9報　犠牲層とS-DLC膜を用いた形状制御の検討

中谷 公祐; 高崎 正也; 寶田 敦之; 大竹 尚登; 水野 毅

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.171.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: D19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.171.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ

第9報　犠牲層とS-DLC膜を用いた形状制御の検討

*中谷公祐, 高崎正也, 寶田敦之, 大竹尚登, 水野毅

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キーワード: 弾性表面波リニアモータ, ダイヤモンド状炭素膜, セグメント構造, 犠牲層, 形状制御

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抄録

弾性表面波リニアモータは原理上，摩擦駆動面に摩耗の問題が存在する．これまでに，摩擦駆動面にセグメント構造ダイヤモンド状炭素膜（S-DLC）を導入することが提案されている．しかし，S-DLC膜を備えたステータ振動子を用いた場合，従来のモータと同様の推力特性を得られていない．これは，セグメント構造の断面形状に起因していると考えられる．本報では，S-DLC膜の形状制御方法を提案し，それを用いた試作結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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