超精密加工機用機上計測装置の高精度化

廣瀬 智博; 上 芳啓; 薮谷 誠

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.29.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: A22

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.29.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

超精密加工機用機上計測装置の高精度化

*廣瀬智博, 上芳啓, 薮谷誠

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キーワード: 超精密加工機, 機上計測, 非球面レンズ, レンズ金型

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抄録

超精密加工機は，加工対象である光学部品や光学部品用の金型加工の高精度化に伴い，超精密加工機の高精度化が進められているが，工作物の形状測定を行う機上計測装置についても高精度化が求められている．本研究では，形状測定時における測定プローブの接触負荷を低減する試みを行ない，±75度の傾斜角の測定範囲全域において，測定再現性50nm以下を持つ機上計測装置の開発を行ない，測定再現性の確認を行なった．

責任著者(Corresponding author)

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