精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会秋季大会
セッションID: F22
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レーザ直接描画装置を用いたサブミクロン干渉縞をもつ大型計算機ホログラムの作製
*中原 住雄松島 恭治
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抄録
計算機合成ホログラム(CGH)の作製において、視域を広げるためには再生像の回折角を大きくする必要があり、このホログラムの干渉縞の空間周波数は500本/mm以上にすることが求められている。この要求を満たすためには、描画ピクセルの単位をサブμmにする必要が迫られる。我々はレーザ直接描画装置とAZ1350フォトレジストマスク基板を用い、640nm×800nmのピクセルで構成されたCGHを作製し、条件を満たす再生像を得た。
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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