パッシブ型THz-SNOMにおける新規探針位置合わせ法の開発

金原 優太; 林 冠廷; 梶原 優介

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.361.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: G33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.361.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

パッシブ型THz-SNOMにおける新規探針位置合わせ法の開発

*金原優太, 林冠廷, 梶原優介

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キーワード: 近接場顕微鏡, パッシブ計測, エバネッセント波, テラヘルツ波

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抄録

パッシブ型THz-SNOMとは，外部光による励起を用いず物質表面に局在する自然発生しているevanescent光を60 nmの分解能で検出することが可能な走査型顕微鏡である．現在は顕微鏡の探針位置合わせをサンプルに施された金属の微小なマークを目標に行っているが，レーザースポットにおける局所的な温度変化を疑似的なマークとして利用すれば，生細胞など様々なサンプルの測定が可能になると考えられる．本報ではその基礎的な検証について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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