2枚のスペックルパターンのみを用いた面内・面外変形計測法の開発

新井 泰彦; 水田 直樹; 田原 樹; 横関 俊介

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.423.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: H45

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.423.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

2枚のスペックルパターンのみを用いた面内・面外変形計測法の開発

*新井泰彦, 水田直樹, 田原樹, 横関俊介

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キーワード: スペックル, 面内・面外計測

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抄録

スペックル干渉計測法では，二枚のスペックルパターンのみを用いた高分解能な面外計測が実現されている．本研究ではこの新たな面外変形計測技術を面内変形計測法に導入することにより，変形前後の二枚のスペックルパターンのみを用いた面内変形計測法を開発している．新しい面内変形計測法では，従来の二光束スペックル干渉計を進化させ，面内・面外変形が二枚のスペックルパターンのみを用いて同時計測することを可能としている．原理確認実験結果を用いて新しい計測法の正当性を検証している．

責任著者(Corresponding author)

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