格子不整合率が及ぼす薄膜の結晶成長の検討

抄録

BaTiO3の圧電性向上は(111)の優先配向が有効と報告されており，著者らはBaTiO3(111)の結晶性改善に関する研究を行っている．結晶成長制御のためのバッファ層は薄膜の結晶成長に影響を与えるため，薄膜とバッファ層の格子不整合を考慮する必要がある．本研究は結晶成長の予測に関する基材と薄膜を考慮した格子不整合プログラムの開発を目的とし，算出結果と実際に成膜した薄膜の結晶構造を比較することで，格子不整合と結晶成長の影響の検討を行う．