ダイヤモンド工具を用いた平削り型切削によるニオブ酸リチウムの微細溝加工に関する研究

抄録

本研究では，弾性表面波を利用したμ-TASデバイスの開発に必要なニオブ酸リチウム基板の微細溝を切削加工によって作製するため，良好な仕上げ面が得られる切削条件の検討を行った．切削実験は欠けを防ぐため断続切削にならないよう，超精密加工機のテーブル送りを利用して単結晶ダイヤモンド工具による平削り型切削を行った．その結果，欠けの無い延性モード切削の範囲が切削方向，すなわち結晶方位によって影響を受けることを示した．