スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法（第2報） 超解像特性の理論解析

横関 宏樹; 工藤 良太; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.71.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: B16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.71.0

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法（第2報）

超解像特性の理論解析

*横関宏樹, 工藤良太, 高橋哲, 高増潔

著者情報

キーワード: 欠陥検査, 超解像光学, スポット照明

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

半導体の微細化に伴い，欠陥計測の重要性が増大している．本研究では光学式半導体欠陥検査技術の開発に当たって，回折限界を超越するためにスポット照明の重複シフトを用いた超解像顕微法を提案している．前報では，提案手法の理論的な検討を行った．本報では，実験において重要と考えられる光学系のパラメータを変化させた際の超解像特性について理論的解析を行う．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）