同軸内面形状計測

抄録

近年、産業・医療分野において内面形状計測法の要求は日々高まっている。このような背景を受けて、我々のグループはディスク状のビームを投影できるリングビームデバイスを開発し、内面形状計測用の細径プローブを開発してきた。この装置は極めて有効なツールになっているが、二軸の光学系であるため、死角が存在することが課題であった。今回この点を解決する同軸の内面形状計測法を提案する。