部分回転楕円面ミラーによる硬X線集光光学系の開発

波動光学集光シミュレーターと表面形状計測法

抄録

硬X線領域の放射光のための高効率なナノ集光光学系の構築を目的とし，部分回転楕円面形状ミラーの実現を目指している．本ミラーは，長手方向の曲率半径が数十mであるのに対し，短手方向には数mmの曲率半径を持つ．波動光学シミュレーターを開発したことで，アラインメントやミラー形状の誤差に対する集光強度分布の評価が可能となった．一方で，高精度スティッチング干渉法に基づく，表面形状計測装置の開発を進めている．