大変形可能な硬X線集光用形状可変ミラーの開発

シミュレーションによる設計指針の検討

抄録

我々は、硬X線領域におけるN.A.可変な集光光学系を構築するため、形状可変ミラーの開発を行っている。これまでに作製した形状可変ミラーは、2nmの変形精度を達成し、半値幅120nmの集光に成功した。現在は、さらに大きな変形量を持つ形状可変ミラーを開発中である。本発表では、波動光学シミュレーションと有限要素解析により得られた、大変形形状可変ミラーの設計指針について報告する。