強誘電体単結晶の比誘電率に及ぼす加工の影響

抄録

強誘電体の誘電・圧電特性は，微小位置決めアクチュエータや超音波振動子など各種電子機器に使用されている．これまでに誘電・圧電特性の改善は材料組成や添加物，電極の工夫によるものがほとんどであり，加工により材料特性を変化させた試みは極めて少ない．本研究は，加工の立場から誘電特性の改善を試み，加工法を工夫することにより，比誘電率の厚み依存性を緩和する方法を見出したものである．