精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会春季大会
セッションID: D03
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サファイアの研磨特性に関する研究
結晶方位依存性の実験的検討
*岡田 睦鈴木 浩文犬飼 力鈴木 敏一東 保男青柳 忍
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抄録
重力波望遠鏡「かぐら」の光学系にはサファイア製の鏡が使用されるが,そのミラー表面は焦点距離7Km(±数m)の球面形状に常温で超精密加工され,その後20Kという極低温に冷却してもその形状制度を維持しなければならない.そのためには結晶面内での研磨特性を詳細に検討する必要がある.今回,サファイアのC, A,M,N,R面の結晶方位による研磨定数の変化を調べた結果,結晶方位依存性が確認されたので報告する.
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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