超精密非接触機上測定システムによる非球面レンズ金型の補正加工

抄録

超精密非接触機上測定システムによる非球面レンズ金型の補正加工について報告を行う。非球面レンズ金型の高精度形状加工において被加工形状を測定し加工装置の運動性能や工具形状を補正して加工することは極めて重要である。超精密レーザ形状測定プローブと超精密加工装置を用いて構築された非接触機上測定システムによって被加工物を取り外すことなく測定・再加工することが可能となった。非球面レンズ金型の補正加工実験を通じてその有用性を実証した。