抄録
ＰＣＤマイクロエンドミルを使用して，溶融石英ガラスに高品位加工面を生成することを目指し，加工品質に影響する因子を特定することを目的に研究をした．その結果，加工条件を適切に選択することにより，ナノータレベルの延性モード加工面が得られることが判明し，また被加工物に垂直方向に作用する単位面積当たりの切削抵抗の値が一定値以上になると延性モードから脆性破壊モードに遷移することがわかった．加工後に工具底面の状態を詳細に観察することにより，微細なダイヤモンド粒子によるマイクロ研削プロセスにより高品位面が生成されると考えられる．この研究から得られた知見により，マイクロウェルの加工を行い，高品位面な加工面が得られることを確認した．
