2ステップフーリエ変換法による変形格子の2次元解析

バックグラウンドノイズ除去法の比較

抄録

縞解析法として、キャリア周波数のわずかに異なる２枚の縞パターンを用いた２ステップフーリエ変換法をこれまでに提案している。本報告では、投影された格子画像からバックグランドノイズを除去する方法として、格子投影前の画像のスペクトルを差分する方法と2ステップフーリエ変換方による方法を比較し、2ステップフーリエ変換法の有効性を確認したので、その結果について報告する。