主催: 公益社団法人精密工学会
東レエンジニアリング 開発本部 商品開発センター
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単波長を用いた干渉計測法は，測定レンジが極めて狭い．この問題の解決のために，複数波長を用いる方法が提案されているが，波長の最適化手法は確立されていない．我々は，合致誤差解析による波長最適化手法を提案する．本手法を利用して，カラーカメラの使用を前提に，最適波長として，470-560-600nmを選定した．この波長の照明系を白色光源と3波長帯域フィルタにより構築し，8μmの測定レンジを確認した．
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