精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会春季大会
セッションID: F61
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50pm 分解能電子顕微鏡が拓くナノ構造解析(キーノートスピーチ)
*谷城 康眞
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抄録
球面収差補正により電子顕微鏡の分解能は飛躍的に向上した.われわれは50pm(0.5Å)分解能の300 kV電子顕微鏡(R005)を開発した.大収束角で走査電子プローブを形成し,広角度の電子を利用して透過電子顕微鏡像を形成する.新しい観察法の開発も行われている.その結果,3次元的な分解能,軽元素,単原子の検出能力が向上した.R005電子顕微鏡による観察法の基礎とナノ構造解析の応用研究の結果を紹介する.
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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