精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会春季大会
セッションID: F74
会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

高速ナノ形状測定法による凹球面・平面ミラーの形状測定
*奥田 晃平, 松村 拓己, 北山 貴雄, 薄木 宏治, 小嶋 拓也, 沖田 賢哉, 打越 純一, 中野 元博, 東 保男, 遠藤 勝義
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キーワード: 測定学, 形状測定, 再現性, 形状誤差, 非球面ミラー, X線光学素子
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抄録
次世代高精度光学素子の作製には自由曲面の形状測定をPV1nm 以上の精度で行う必要がある.そこで我々は法線ベクトル検出型超精密形状測定装置を開発した.本測定法では,光学系3軸,試料系2軸を同時に制御し,ミラーへの入反射光路を一致させ,試料面各点の法線ベクトルと座標を測定し,独自のアルゴリズムを用いて表面形状を算出する。本稿では本測定装置用いた凹球面及び平面ミラーの形状測定結果を報告する.
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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