静電誘導給電法を用いた微細放電・電解加工の加工特性

抄録

放電加工は微細加工のための有力な加工法であるが，工具電極が消耗し，加工変質層が生じるという問題がある．一方で，電解加工は工具電極が消耗せず，加工変質層が生じない．また，放電加工に比べて精度が悪いと評価されていた電解加工であったが，加工電源を超短パルス化することにより放電加工と同等の精度での加工が可能となっている．本発表では，静電誘導給電法を用いた微細放電・電解加工の加工特性について述べる．