研磨パッドの長寿命化を指向した再生用補助板と周辺技術開発（第1報）

再生原理とその特長

抄録

CMP（化学機械研磨）工程で使用される研磨パッドは使用後に再利用されずに廃棄処分されている。そこで本研究では、使用済み研磨パッドを再利用するために、補助板を開発した。本稿の目的は、補助板並びに再生加工された研磨パッドが研磨性能に及ぼす影響を実証することである。その結果、補助板の有無に関わらず研磨パッドの性能に有意差は無く、再生加工された研磨パッドは研磨レートと均一性に影響を与えないことを示した。