準大気圧プラズマＣＶＤによる金属基材へのＤＬＣコーティング

抄録

摺動部品に対するDLCコーティングの需要が近年高まっている．本研究は，ナノパルスプラズマCVD法により，準大気圧下において金属材料上に耐摩耗性DLC膜を合成することを目的としたものである．まず準大気圧下（100Torr）においてSUS304基板上にテトラメチルシラン（TMS）を原料ガスとして中間層を生成し，さらにこの中間層上にメタンを原料ガスとしてDLC膜の合成が可能であることを明らかにした．最後に準大気圧下で合成したDLC膜の硬さと耐摩耗性を評価した．