精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会春季大会
セッションID: L03
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極低温環境における圧電材料の評価と振動子への応用
*山口 大介神田 岳文鈴森 康一
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抄録
極低温環境において圧電材料の圧電性は低下することが知られている.しかし,振動子への応用を前提として,圧電材料の評価を行った例は少ない.本研究では,圧電特性の温度依存性について評価を行った.室温から極低温環境まで幅広く圧電特性を評価するために,圧電性評価方法として共振–反共振法を用いた.また,ボルト締めランジュバン型振動子として構成した際の振動特性についても評価を行った.
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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