低剛性ベースの工作機械のねじり振動を抑制するガントリーステージのモデル化とコントローラの設計

抄録

ベースの剛性不足に起因して機械構造全体で生じる低周波振動により，工作機械の制御系の性能が低下する問題がある．本研究では，問題となりやすいベースのねじり振動モードの影響を考慮したガントリーテーブルの制御システムをモデル化する．そして，ベースのねじれ振動を抑制する新しい補償器とその設計手法を提案する．実機を用いて検証を行い，提案手法によってねじり振動が効果的に抑制されることを確認した．