光学式の表面性状測定機を対象としたＦＤＴＤ法による基本形状に対する応答解析

抄録

FDTD法を用いた走査型レーザ顕微鏡の形状計測シミュレーションツールを開発した。実測とシミュレーションの対応を評価した結果,このツールでは光学式測定機固有の異常値を含む測定結果を再現できることが分かった。本報告では様々な幾何形状の標本の計測シミュレーションを行い,これらの結果を基に光学式表面性状測定機の校正または検定用の標準片の最適な幾何形状について考察した。