精密研磨板による単結晶ダイヤモンドの加工

抄録

ダイヤモンド工具はダイヤ微粉と鋳鉄研磨板を用いて研磨されている．しかし，この方法では切刃がダイヤモンド微粉と衝突してチッピングが発生する問題ある．本研究では鋳鉄研磨板の代わりに精密加工した焼入れ鋼，ソーダ硝子等の円板を用いてダイヤ微粉を用いずにダイヤモンドを研磨し，研磨面表面粗さと除去量の結晶方位依存性を評価した．その結果，いずれの研磨板でも従来法よりも鋭利な切刃稜と原子オーダの表面粗さが得られた．