超高感度角度センサに関する研究

抄録

近年，半導体デバイスや光学素子の微細化に伴って，それらの製造・検査に用いられている精密ステージには高精度な位置決めが要求されている．角度センサはレーザオートコリメーション法を用いて精密ステージの位置決め誤差の要因となる微小な姿勢変化を計測するセンサである．本報では，センサのレーザービーム径を拡大することで受光素子上の光スポット径を小径化し，角度検出感度の高感度化を行った結果を報告する．