非接触精密光コム距離測定技術の開発（第４報）

光コムを用いた粗面に対する非接触測距

抄録

光路長変化による光コムのセルフビートの位相変化に基づいた、高分解能で非接触な粗面に対する計測手法の開発を行なっている。セルフビートの波長は、表面粗さと比べて十分な長いため、粗面物体の計測が可能である。また、数十GHzの帯域までセルフビートを利用できるので、精密な絶対計測ができる。さらに、RF発振器が不要でサイクリックエラーの影響を受けないため、粗面までの距離を絶対的に10 μm程度の不確かさで計測可能である。