大型非球面形状のナノメートル測定(第8報)

走査条件が形状繰り返し精度に及ぼす影響

抄録

近年，大型望遠鏡等の開発が進み，非球面ミラーやレンズの表面形状の高精度化が求められている．しかし，そのような高精度な形状測定方法は，確立されていない．そこで我々は，大型の形状の測定手法の中から，複雑表面の対応や，位置決め精度の観点からオートコリメータをリニアステージに取り付け，走査させる方法を採用した．そして，今回は，走査条件の測定面の形状繰り返し精度に及ぼす影響を実験的に考察した．