局部傾斜角測定に基づく絶対表面形状測定装置の開発(第2報)

重力による平面鏡のたわみ評価

抄録

フィゾー干渉計に用いられる参照鏡の重力によるたわみは，大きな不確かさ要因である．これまで有限要素法を用いた参照鏡のたわみ量の補正を行ってきたが，この補正量の妥当性を評価することが難しかった．そこで，前報で開発した参照鏡を用いない絶対表面形状測定機と補正された参照鏡を用いたフィゾー干渉計で平面鏡を測定し，両者の差分測定結果から補正量の妥当性評価を行った．両装置の結果は，2.2 nm(PV値)の一致が得られた．