多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討（第3報） ゼロ点ずれ変動検出方法の改良

久米 達哉; 江並 和宏; 東 保男; 上野 健治; 山中 将

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.941.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: N46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.941.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討（第3報）

ゼロ点ずれ変動検出方法の改良

*久米達哉, 江並和宏, 東保男, 上野健治, 山中将

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キーワード: 形状測定, 多点法, ゼロ点ずれ

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抄録

我々はこれまでに,代表的な多点法である3点法による形状測定を対象として,用いられる3台の形状測定器間のゼロ点ずれの変動を検出し除去することを目指して,レーザの直進性を用いたゼロ点ずれ変動検出方法について検討を行ってきた.ここでは,従来の2本の平行ビームを用いたゼロ点ずれ変動検出方法では誤差要因となったビーム偏向の影響を,新たに考案した3本の平行ビームを用いた改良法により除去可能とした.

責任著者(Corresponding author)

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