酸化ジルコニウム砥粒を用いた酸化亜鉛添加の石英ガラス研磨特性

李 承福; 桐野 宙治; 谷 泰弘

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.945.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: O01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.945.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

酸化ジルコニウム砥粒を用いた酸化亜鉛添加の石英ガラス研磨特性

*李承福, 桐野宙治, 谷泰弘

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キーワード: ガラス研磨, 石英ガラス, 砥粒, 添加材, 研磨特性

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抄録

ガラス加工の最終仕上げに広く用いられている酸化セリウム(CeO2)砥粒の使用量低減やその代替砥粒として酸化ジルコニウム(ZrO2)砥粒に着目し，代替砥粒としての可能性について検討を行った．石英ガラス,ホウケイ酸ガラスなどの硬質ガラスに既存のウレタン樹脂研磨パッドを用いて，酸化ジルコニウム砥粒と酸化亜鉛を添加材として加え実験を行いながらその研磨特性を調べた

責任著者(Corresponding author)

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