熱分解を用いたマイクロ無痛針の中空化手法の開発

抄録

スパッタリング法を用いた極細管創製手法ではマイクロ無痛針の創製過程における基材除去の中空化にウェットエッチングを使用している．しかし，マイクロ無痛針の寸法は極細であることからウェットエッチングに長時間を要しており，中空化時間の短縮が課題である．そこで，本研究ではマイクロ無痛針創製時間を短縮することを目的とし，高分子材料の中間層による熱分解を利用した中空化手法の条件探索を行う．