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村川 宗治郎, 大橋 一仁, 塚本 真也
セッションID: A04
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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カーボンの乾式研削では，研削砥石の表面にカーボン切りくずが付着し，目詰まりが発生することで著しく切れ味が失われてしまう．本研究では，微粉ドライアイスブラストによるカーボン切りくず除去を実現するための基礎的知見を得ることを目的とした．ブラスト圧力・ノズルスタンドオフを変化させ，カーボン切りくず除去への影響を実験的に検討することで，微粉ドライアイスブラストによるカーボン切りくずの除去効果が確認された．
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水膜チャックの薄化研削への適用
坂東 翼, 山本 栄一, 吉冨 健一郎, 宇根 篤暢, 餅田 正秋
セッションID: A05
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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ウェーハの研削は通常,ポーラスチャックを用い真空吸着で行なわれているが，ウェーハの反り矯正が不完全，且つポーラス面の汚染や凹凸が転写される課題がある．このため表面張力を利用した水膜チャックの開発を行っている．本報では，水膜形成法を新たに考案し200nm以下の極薄水膜を300mmウェーハ間に形成，この一方を薄化研削し厚さ50μmの高平坦ウェーハを実現,これにより水膜チャック実用への見通しが得られたので報告する.
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第2報：工作物極表層の結晶構造の解析
于 伝海, 藤本 剛壮, 太田 稔, 江頭 快, 山口 桂司, 秋田 恭伯
セッションID: A06
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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ラピッドローテーション鏡面研削は，高能率に鏡面仕上ができる超高速円筒研削法である．前報では，本研削法で加工された工作物の極表層の金属組織がナノ結晶化されている可能性を明らかにした．そこで，本研究では，ナノインデンテーション法と透過電子顕微鏡にて，微小硬度測定および結晶構造の観察を行い，砥石周速度と工作物周速度の超高速化が工作物の極表層の結晶構造に及ぼす影響について検討した．
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工作物熱変形量を考慮した加工システムの開発
藤山 泰弘, 大西 孝, 坂倉 守昭, 大橋 一仁, 塚本 真也
セッションID: A08
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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円筒プランジ研削においては，研削中に研削熱により工作物が熱膨張し，加工終了後には冷却されて熱収縮するため，研削中の熱変形が寸法誤差の原因となる．そこで本研究では，寸法精度の向上を目的として，研削中の工作物が研削終了後に熱収縮した際の正味の寸法生成量を予測するシステムを開発し，研削実験により有用性を検証した．その結果，複数の研削条件で目標値に極めて近い寸法生成量が得られることが確認された．
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ブラシ型ノズルによる研削液の巻き付き効果
細川 晃, 三嶋 啓太, 古本 達明, 小谷野 智広
セッションID: A09
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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本研究は少量の研削液で効果的に研削熱の発生を抑制する手法を構築することを目的とし，研削液の砥石作業面への供給の妨げとなっているエアベルト（砥石連れ回り空気流）を効果的に抑制する方法について検討している．すなわち，砥石作業面に接触させたブラシを介してクーラントを供給する方法を提案し，本手法の有効性を研削抵抗や仕上げ面性状などから検証している．
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谷 良祐, 大橋 一仁, 藤原 良平, 吉川 満雄, 窪田 真一郎, 塚本 真也
セッションID: A10
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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CFRPのマトリックス樹脂は耐熱性に乏しく，機械加工時の熱により炭素繊維と樹脂の界面でのはく離が問題となっている．しかし，CFRPの加工点における熱環境の検討はほとんどなされていない．本研究では，乾式，湿式および研削液の代替として液体窒素を用いたCFRPの平面研削において，砥粒および砥石研削点温度を測定し，これらを基に研削点での熱伝達率の時間的変化および各研削雰囲気での熱伝達特性を明らかにした．
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藤原 広和, 味岡 正樹, 長尾 勝, 川井 文彰, 濱田 公守
セッションID: A15
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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近年、様々なタイプの燃料や電気、水素などがハイブリッド車、プラグインハイブリッド車、電気自動車、燃料電池車などの次世代環境対応車に使われている。それらのHVシステムで用いられているインバータとコンバータには、多くのパワーエレクトロニクス回路が搭載されている。さらなるHVの普及と次世代環境対応車の実用化促進において、Si-IGBTの性能限界が近づく中、次世代パワー半導体としてSiCデバイスの車載実用化に期待が高まっており、SiCの開発が幅広く進められている。
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A-type装置による炭化ケイ素を加工対象とした平坦化特性の評価
塩澤 昂祐, 佐野 泰久, 土肥 俊郎, 黒河 周平, 會田 英雄, 宮下 忠一, 住澤 春男, 山内 和人
セッションID: A17
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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我々は機械加工と大気圧雰囲気下におけるプラズマエッチング(Plasma Chemical Vaporization Machining; PCVM)を融合させた高効率な平坦化を提案している．前報(第2報)では機械加工とPCVMを交互に行う装置の試作とその融合加工法の原理検証を行った．本報では，加工対象である炭化ケイ素に対して融合加工を繰り返し行い，その繰り返し回数と表面形状の関係について報告する．
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B-Type装置による各種難加工材料の基本的加工特性とその評価
大山 幸希, 土肥 俊郎, 佐野 泰久, 黒河 周平, 會田 英雄, 塩澤 昂祐, 宮下 忠一, 金 聖祐
セッションID: A18
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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我々は、設計・試作した革新的CMP/P-CVM融合加工装置(B-Type)を用いて、難加工材料に対する高能率加工を展開している。炭化ケイ素基板に対してCMP/P-CVM融合加工した結果、CMP(Chemical Mechanical Polishing)、あるいはP-CVM(Plasma Chemical Vaporization Machining)の単独加工と比較して、加工レートの上昇、および表面粗さの改善が可能となり、CMPとP-CVM融合によるシナジー効果を確認した。加えて当該技術を適用して、超難加工材料である単結晶ダイヤモンド基板を加工した結果についても併せて報告する。
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村川 渉, 鈴木 恵友, カチョーンルンルアン パナート
セッションID: A19
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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難加工材料の基板形成プロセスでは研磨効率の向上は不可欠である．難加工材料の研磨技術としては現在プロズマ援用による高効率研磨技術が注目を集めているがこの場合新規に装置開発をする必要がある．本研究では研磨微粒子自体の高硬度化や化学反応性の向上を目的とし，紫外線照射により水酸化フラーレンやダイヤモンドから新規ナノ微粒子を生成することで，研磨性能の向上を試みたのでこれらの結果について報告する．
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高面品位の研削とCMP
伊東 利洋, 山本 栄一, 金安 充
セッションID: A21
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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GaN基板は，LEDの高輝度化，パワーデバイスの高性能化用基板として期待されている。しかし、硬脆材料であるため，高平坦化を行うには複雑な製造工程となり、GaN基板の高コストに繋がる。この課題を解決するため，高番手砥石とCMPの単純工程で高平坦化と低コスト化を目指している。本報では，#8000の高番手砥石でRa 5nm，CMPでRa 1nmを実現した結果を報告する。
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山口 航, 礒橋 藍, 杉浦 崇仁, 稻田 辰昭, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人
セッションID: A22
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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我々は窒化ガリウム (GaN) ，炭化ケイ素 (SiC) 基板表面を原子スケールに平坦な面に化学的に加工する新たな加工法を開発した。研磨盤に白金触媒を使用した本手法を触媒表面基準エッチング (CAtalyst-Referred Etching: CARE) 法と呼ぶ。本加工法では、一原子層高さのステップ・テラス構造をもつ平坦表面の作製を実現している。加工速度の向上を目的とし、紫外光照射による光電気化学反応の援用効果について調査した結果について報告する．
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礒橋 藍, 稻田 辰昭, 山口 航, 杉浦 崇仁, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人
セッションID: A23
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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触媒表面基準エッチング (Catalyst-referred etching: CARE) 法は炭化ケイ素をはじめとする各種機能性材料上に原子レベルで規定された表面を実現可能な新たな研磨手法である．本手法では触媒を白金，加工溶液を純水としているが，白金は高価であることに加え，処理後表面に残留する可能性があり，洗浄による除去が困難であることが問題として挙げられる．本研究では，より安価で洗浄性に富み，十分な加工性能を有する新規触媒の検討を行ったのでこれを報告する．
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パターン形状とLED性能の関係
青田 奈津子, 會田 英雄, 川又 友喜, 木村 豊
セッションID: A24
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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異なるパターンサイズを持つサファイアパターン基板（PSS）上へGaN系発光ダイオード（LED）を作製し、PSSのパターンサイズとGaN系LEDの性能の関係を調べた。PSSのパターンピッチが狭くなるほど、GaN系LEDの輝度が増加することを確認した。さらにPSSのパターンサイズが内部量子効率と光取り出し効率へ及ぼす影響についても議論した。
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宇根 篤暢
セッションID: A32
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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研磨に関する理論的取り扱いは，切削や研削加工と比較して難しい．研磨の理論は，プレストンの式から始まるが，多くの研究では最近まで圧力分布は工具全面で一様と仮定され，行われてきた．1990年代から研磨装置の高精度化やコンピュータの高速化に伴って，すきま理論や有限要素法による正確な圧力分布が計算されるようになり，一挙に多くのシミュレーションが開花した．ここでは，研磨シミュレーションの変遷といくつかの手法について概説する．
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機械的作用と化学的作用のインターラクション考察
畝田 道雄, 高橋 佳宏, 澁谷 和孝, 中村 由夫, 市川 大造, 石川 憲一
セッションID: A34
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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シリコン（Si）のCMPに及ぼす影響因子として研磨装置の挙動や消耗副資材の特性に着目し，それらのパラメータが研磨特性に与える影響について明らかにすることを目的とする．本報ではSi-CMPの研磨機構に及ぼす研磨装置挙動や消耗副資材特性の解明を目的に，機械的作用と化学的作用の影響度を評価するため，通常のコロイダルシリカスラリーに加えて，砥粒レススラリーによる検討を行うことを通じて多面的に考察した結果を示す．
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佐藤 誠, 大森 恒, 高橋 舞子, 山口 貴哉
セッションID: A36
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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SiCウエハの研磨における酸化剤の効果について調査してきた。また、固定砥粒の高速・均一加工性と遊離砥粒の平滑加工性を同時に実現するため，半固定砥粒（LHA：Loosely Held Abrasive）構造の工具“LHAパッド”を開発した。今回は、酸化剤援用下でのLHAパッドのSiCウエハ研磨性能を調査した結果を報告する。
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橋本 洋平, 鈴木 教和, 沈 閲, 社本 英二
セッションID: A37
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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著者らはこれまでに，CMPプロセスに対する研磨パッドの粘性特性と研磨パッド表面の凹凸形状による非線形弾性特性を考慮した解析手法を開発している．本報では，ジンバル方式の研磨ヘッド構造を利用するCMPプロセスを対象とした検討により，各種物性や形状のモデル化が研磨圧力シミュレーションの結果に与える影響について明らかにする．さらに，実験結果と比較することにより解析精度を検証する．
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臨界切り込み量の結晶方位依存性に対する熱援用切削の効果
山信田 博紀, 武田 秀俊, 会田 英雄
セッションID: A38
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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延性モード切削加工による平坦化の実現には正面旋削法が有効である。しかし延性モードを発現するためには切り込み量の設定を臨界切込み量d
c以下にしなければならない。d
cには結晶方位依存性があるため、切り込み量は最も浅い方位のd
cに揃える必要があり、このことが加工効率を低下させていた。熱援用加工の結果、d
cの結晶方位依存性を緩和する効果が見られたため加工効率の改善が期待される。
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林 照剛, 横尾 英昭, 王 成武, 松川 洋二, 黒河 周平
セッションID: A39
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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半導体ウェハ表面欠陥の高感度非接触光計測を実現するためHybrid X-FROG法を提案する．提案する手法では，フェムト秒パルスの時間幅で試料表面で反射する光波の位相を測定し，基準光に対する測定光の位相変化情報を取得し半導体ウェハ表面欠陥の計測を行う．
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田中 弥生, 江龍 修, 青木 渉, 神田 隆生
セッションID: A43
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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被削物の仕上がり状況において、加工刃具の劣化による仕上がり精度のバラつきが存在する。加工刃具の劣化を押さえ込むことが、被削物の品質向上につながる。本研究では、加工刃具の刃先状態の改質方策として、金属CMP（化学機械研磨）を用いる。粒径0.1μm以下の微粒子で作製した超硬チップの刃先をCMP加工により滑らかな表面を実現した。CMP加工した超硬チップを用いて純Niを切削加工し、溶融することなく切削加工に成功した。
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ファイバードレッサとダイヤモンドドレッサの寿命評価試験
畝田 道雄, 高橋 直紀, 新井 雄太郎, 藤田 隆
セッションID: A44
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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本研究は研磨パッドの研磨特性を定量的に評価することで，ファイバードレッサの有効性を示すことを目的とする．本報では，ファイバードレッサとダイヤモンドドレッサの双方による長時間ドレス寿命試験を行い，パッドカットレートと切削屑の分析をするとともに，シリコンウェーハの研磨レートの安定性について比較検討した．また，すくい角の観点からメカニズムを考察することで，ファイバードレッサの有効性を示し得る知見を得た．
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新型工具の加工特性
吉冨 健一郎, 餅田 正秋, 多田 一生, 宇根 篤暢
セッションID: A45
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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様々な薄型試料の高精度研磨には高い加工能率が求められている．研磨の高能率化には研磨面のスラリー流れの状態が重要である．本研究の目的は，小径工具を用いた大口径ウエハの片面研磨において，研磨面のスラリー流れを最適に制御することにより高能率研磨を実現する方法を確立することである．本報では，新たに考案した加工面に高速なスラリー流れを形成する工具を使用したさいの加工特性について述べる．
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御手洗 真人, 福田 明
セッションID: A46
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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半導体デバイスの高性能化を実現するために，化学的機械研磨においては研磨メカニズムを踏まえた効率的な技術開発が重要となっている．研磨メカニズムの解明は各方面で精力的に進められているが，ウェーハ表面での砥粒輸送に影響があると思われる研磨パッド表面の微細な凹凸スケールでのスラリー流れは，全く解明されていない．本研究では，ウェーハ・パッド間の微細隙間の可視化模型を作製し，スラリー流れの可視化を試みた．
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海老塚 昇, 森田 晋也, 山形 豊, 佐々木 実, ビアンコ アンドレア, マリア ゼルビ フィリッポ, 田辺 綾乃, 橋本 信幸, 平原 ...
セッションID: A62
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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Volume phase holographic (VPH) gratingは1次回折光に対して極めて大きな分散と高い回折効率を達成することができるため多くの天文学観測装置に搭載されている。しかし、VPH gratingは回折角が大きくなると自然偏光に対して高い回折効率を達成できなくなり、高い次数において回折効率が低下してしまう。我々はVPH gratingの欠点を克服できるBirefringence binary Bragg (3B) gratingやQuasi-Bragg (QB) grating、Quasi-Bragg immersion (QBI) gratingを紹介する。また、新しい階段格子のImmersion gratingの製作方法についても紹介する。
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武田 晋, 郭 江, 森田 晋也, 細畠 拓也, 小田 達郎, 山田 悟史, 加藤 純一, 日野 正裕, 山形 豊, 古坂 道弘
セッションID: A63
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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集光用の中性子スーパーミラーを作製する場合、金属材料を使用した基板であれば、従来の石英を研削・研磨する手法と比べて、超精密切削を用いる事で形状加工が容易となる。またマルチセグメントミラーでミラーの大型化を図る場合、ミラーセグメントを取り付けた際に生じる位置誤差を小さくする機構を設けることも可能である。本研究では実際に金属基板を使用して2つのミラーセグメントを用いた楕円ミラーを作製し評価を行った。
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森田 晋也, 山形 豊
セッションID: A64
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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超精密加工面上の中間周波数形状誤差である微細うねりは，加工面の光学的な性能に影響を及ぼすが，後工程の精密研磨にて除去することが難しい．そこで本研究では微細うねりを加工機上で評価する手法として，レーザを用いた高さプローブを用いて超精密加工機上で形状計測を行うシステムを提案する．本報では本システムの構成および性能評価の結果について述べる．
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郭 江, 武田 晋, 日野 正裕, 小田 達郎, 森田 晋也, 加藤 純一, 山形 豊, 古坂 道弘
セッションID: A65
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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In this paper, the focusing performance of an ellipsoidal neutron focusing mirror is evaluated by using neutron beams generated from CN3 beam port at Kyoto University Research Reactor (KUR-CN3). KUR-CN3 can generate a wavelength of neutrons from 0 to 10 Å, with a peak intensity at wavelength of 2.7 Å. To well focus the neutron beams, an aperture and slit are fabricated by using Cadmium. The aperture, which dominates the size of incident beam, is set to 1 mm in diameter by considering the intensity of cold neutrons. The U-shape slit. is designed by following the shape of incident beam to the mirror, and is used to shield the unnecessary beams. For collecting the data, a Register network Photo Multiplying Tube type detector (RPMT) which is capable of doing pulse neutron spectrometry with 2D Position sensitive and counting mode is adopted. The results show that the neutron beams are well focused by the mirror. The focusing spot size at FWHM is 1.050 mm and 1.047 mm in vertical and horizontal direction, which is almost equivalent to the size of aperture. From the 3D view of focused neutron beam, no significant diffuse scattering can be found.
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無電解Niめっきと電解Niめっき金型の切削特性の比較
升田 裕樹, 岡田 睦, 鈴木 浩文, 森田 晋也, 郭 江, 山形 豊, 林 偉民
セッションID: A67
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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X線望遠鏡では微弱なX線を観測するために反射鏡の形状精度，表面粗さは高精度なものが要求される．ダイヤモンド工具による超精密切削は研磨面に匹敵する表面粗さを短時間で得られる．近年，無電解Niおよび電解Niにおいて1mm程度の厚膜めっきが可能となった．そこで，本研究は電解ニッケルメッキ試料を超精密ダイヤモンド旋削し，送りや工具摩耗による試料表面粗さの変化や工具の摩耗について実験的に調べた．
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眞下 春子, 林 偉民
セッションID: A68
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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本研究では、中性子ミラーの材料候補である無電解NiPめっき基板の鏡面研磨の基礎研究を行い、研磨条件の違いによって加工特性にどのような影響を及ぼすのか調査した。
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高木 昭宏, 岡田 睦, 鈴木 浩文, 菅原 潤
セッションID: A69
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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温度変化の大きい宇宙空間において天体観測用の反射鏡の熱膨張が問題となる．そこで，本研究では低熱膨張セラミック製の反射鏡を開発するため，研削加工および研磨加工の検討を行った．研削加工はダイヤモンドホイールを用いた非球面研削について，仕上げ研磨加工は空気圧利用の軟質ポリシャの均等研磨法について検討し，Φ120mmの放物面反射鏡の試作実験を行ったので報告する．
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舘林 賢, 前田 雄太, 柴坂 敏郎, 白瀬 敬一
セッションID: A71
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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電解Ni-P皮膜と無電解Ni-P皮膜の超精密切削加工をダイヤモンド工具を用いて行い，めっき皮膜の表面粗さへの影響を検討すると共に，２次元切削を行い，切りくず生成機構，切削力に及ぼす影響を検討した．その結果，いずれも切りくず形態は層状すべり構造を呈し，表面粗さの値は変わらないが，電解Ni-Pに比べ無電解Ni-Pのほうがせん断角は小さくなり，切削力及び，すくい面摩擦係数が大きくなることがわかった．
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橋本 剛, Jeffery Roblee
セッションID: A72
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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光学分野における自由曲面形状への要求は年々大型化していく傾向にある。従来の加工方式にて加工可能であるが、その要求を満たす加工に費やす時間は膨大となり大型ミラー等の製造における問題点の一つである。自由曲面加工手法の一つとして、割出回転軸を用いた自由曲面旋削加工（スローツールサーボ加工）方法の提案を行い、装置開発および加工プロセスの検討を行った。本稿では得られた面精度および加工時間評価について述べる。
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益子 直人, 小林 龍一, 寺岡 祥平, 嶋田 慶太, 水谷 正義, 厨川 常元
セッションID: A73
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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近年，製品の高機能化を目的として，表面にマイクロオーダの微細な構造体を創成し，機能性を付与する方法が注目されている．ただし構造体のサイズが小さくなればるほど加工時に生じるバリや欠け等の欠損が相対的に大きくなるという問題がある．そこで著者らはそれらの問題を解決する手法としてレーザ援用切削に着目し研究を行っている．本報では，加工時に生じる現象を解析と実験により検討を行ったので報告する．
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齋藤 健太郎, 飯塚 博幸, 山本 雅人
セッションID: B02
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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ロボットの構造が複雑になるにつれて，操縦するためのインタフェースも複雑なものとなり，ユーザである人間には複雑な操縦方法の学習が強いられる．本研究では人間の学習負荷が低い簡易なインタフェースにもかかわらず，複雑な構造のロボットを操縦できるインタフェースの作成手法を提案する．人間と機械が相互に学習を行う提案手法により．ユーザに適応したインタフェースが作成可能であることを評価実験によって明らかにする．
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三上 脩, 神谷 好承, 関 啓明, 疋津 正利
セッションID: B03
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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生産ラインなどで発生する大量のバラ積み部品のピッキング作業は，専用の整列装置を介して可能となる場合が多く，作為的な環境整備を免れない現状がある．本稿では，レーザ測距式測域センサを駆使して精度良く取得した3次元的点群により表現された立体情報を基に，物体の位置姿勢認識及びハンドリング計画手法の提案と実装を行うことで，バラ積み状態からの把持作業の自動化を多様な形状の品目に対して実現することを命題とする．
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榊原 隆, 木下 晴之, 大島 まり, 藤井 輝夫
セッションID: B04
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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機能的な動作を実現するマイクロハイドローリックアクチュエータ（MHA）の設計，構造解析シミュレーション，および製作を行った．MHAは微細な流路に加える圧力を制御することで平面形状から3次元的な動きを生み出す．MHA内部に複数の微細流路を配置することで，より複雑で機能的な動作の実現を試みた．微細流路構造の幾何学形状やレイアウトを工夫することで，効率的で，多自由度な動作を得られることがわかった．
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林 建斗, 廣垣 俊樹, 青山 栄一
セッションID: B05
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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本研究はヒューマノイドロボットを用いた打撃動作と音響認識システムの開発を扱ったものである．打撃動作は音と共に打音検査として様々な分野で扱われている．例えば，建造物の打撃音での点検や，果物の熟度判定などが挙げられる．これらの作業は危険で長時間を要する場合や，任意の衝撃力を再現する必要があるためロボットで行う方が効果的である．そこで本研究ではヒューマノイドロボットを用いて打音検査の自動化を試みる．
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爪とジョイント角度の違いによる歩行動作の検証
栗原 勇太, 寳性 瑞貴, 西田 麻美
セッションID: B06
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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近年，社会的インフラの老朽化や自然災害に伴い，脆弱な環境下の配管内を調査するロボットに期待が寄せられている．我々は，構造やアクチュエータに柔らかな材料を用い，必要最低限の信号処理で複雑な動きができる二脚式ソフトロボットの研究を展開している．本研究では，ロボットの重要な役割をなす爪をメガネ端子から傾斜パイル織物地に変更し，腕（ジョイント）の角度を変えて接地面を平面から曲面まで対応できるようにした．
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崔 宇鎭, 王 睿, 小林 英津子, 安藤 岳洋, 佐久間 一郎
セッションID: B08
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
会議録・要旨集
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We have developed multi-degrees of freedom forceps which has one degree of bending and one degree of tip rotation freedom with small USAD used in laparoscopic surgery. However, the original USAD whose diameter is 12mm and length is 57mm is still large for laparoscopic surgery. In this study, we developed a small USAD with a diameter of 8mm and a length of 35.5mm, which has a vibration speed of 6m/s at the resonant frequency of more than 100 kHz. Ex-vivo experiment is performed and at the vibration velocity of 5m/s in which meat materials can be successfully cut off.
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岸田 知佳, 森本 正治
セッションID: B09
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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現在、磁気粘性流体（MRF）をブレーキを足継手部に組込んだ高機能短下肢装具の研究を進めている。このブレーキを制御するために従来は足底の踵、爪先部に設置したスイッチを用いて歩行状態の判別を行っていた。しかしこのスイッチには壊れやすいという欠点があった。これを解決するために装具支柱部に組込む圧縮力・曲げモーメントセンサによる歩行状態判別を行い耐久性を向上させるとともに状態判別の精度も向上させた。
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足部アライメントとRoll-over特性の関係
藤井 僚佑, 岸田 知佳, 森本 正治
セッションID: B10
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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これまで，義足足部・足継手部の機能は義足歩行における矢状面から見た足底のZMP軌跡(Roll-over Shape)で評価してきた．本研究では，義足足部・足継手部の機能評価を目指して，義足歩行において義足足部・足継手部のアライメント（底背屈，内外反，内外旋）の変化と足底の3次元f.c.p(force contact point)軌跡との関係を詳細に計測・評価した．
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古川 英典, 角田 陽, 中楯 浩康, 青村 茂
セッションID: B14
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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本研究の最終目的は，びまん性軸索損傷等の頭部外傷時の脳損傷の発生メカニズムを神経細胞レベルで解明することである．そのために神経突起を伸長したPC12細胞に対する衝撃試験により耐性評価を行う．実際の頭部の脳神経細胞には配向性があるため，PC12細胞でも神経突起の方向を制御する必要がある．そこで，微細加工技術により作製した細胞の大きさに近い微細凹凸溝をもった培養面上で培養することで神経突起の伸長方向制御を試みた．
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自動調心機能付き細胞配列用マイクロチャンバアレイの開発
田中 遼丞, 永井 萌土, 川島 貴弘, 柴田 隆行
セッションID: B15
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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本研究では，細胞の機能発現過程を目的に応じて制御するための高効率な生化学的処理（生体分子の細胞内デリバリー）を可能とする超高速細胞処理システムの開発を目的としている．本報では，多数の細胞の同時並列処理を実現するために必要となる自動調心機能を有する細胞配列用マイクロチャンバアレイの作製を行った．また，電場駆動力および振動援用を利用したDNAの細胞内デリバリー実験を行い，その有効性を検討した．
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川鍋 真人, 武田 伊織, 増子 龍也, 金子 新
セッションID: B16
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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親水/疎水パターンと移流集積法により，ガラス基板上に粒径1 μmのシリカ粒子を幅40 μmのライン状に整列させた．この微粒子列は細胞を選択的に接着させる足場となる．本報告では，その選択制を発現する機構を明らかにするため， PC12，HeLa，およびC2C12を対象として顕微鏡下で培養した．細胞はガラス表面から微粒子列へ遊走し，いったん粒子列に到達した細胞は同領域内で成長（増殖）することがわかった．
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井上 諒, 武田 伊織, 笠松 寛央, 金子 新
セッションID: B17
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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モールドと光化学重合を応用して，含水率の異なるハイドロゲル（ポリエチレングリコール）の微細構造を作製した．同構造は幅または直径が数μmのリッジまたはドットである．ハイドロゲル重合含水率によってハイドロゲルの弾性率は0.8～1.6kPaとなるが，含水率が高い（弾性率が低い）ほど微細構造の形状精度が低下する．微細構造化ハイドロゲル上で細胞を培養したところ，少数ではあるが細胞の接着が確認できた．
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水野 有智, 木下 裕介, 福重 真一, 梅田 靖
セッションID: B19
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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本報では持続可能社会の実現に向けたシナリオ作成において，将来の産業の姿を定量的に描くために，経済分析などに用いられる産業連関表に基づく産業構造分析手法を提案する．本手法では，基準年の産業連関表に対してシナリオ内で設定された仮定を導入し，将来の産業連関表を構築することで将来の産業構造を定量化する．実行例として，先行研究にて作成された持続可能製造業シナリオに基づき，将来の日本の製造業の姿を定量化した．
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ライフサイクル-CADを用いたライフサイクルシミュレーションモデルの作成支援手法
松本 拓也, 松山 祐樹, 福重 真一, 梅田 靖
セッションID: B20
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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製品ライフサイクル(LC)設計では、問題設定、解候補の導出、解候補の評価、決定のサイクルを円滑に回して設計解を導出する。前報までで提案した製品LCモデルを用いてLCを評価する場合、LCシミュレーションを実行するための計算式の記述が必要であり、この作業がLC設計サイクルの円滑な実施を阻害する。本報ではLCプロセスの接続関係をパターン化し、物や情報の流れに基づいて計算式の記述を支援する手法を提案する。
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松山 祐樹, 西岡 昌輝, 福重 真一, 梅田 靖
セッションID: B21
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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製品や部品は，その各個体が異なるライフサイクル（LC）履歴（個体情報）をもつ．この違いにより，循環資源の状態は多様となり，その量は変動する．そのため，個体情報に基づき，製品LCの仕様となる設計情報を決定することが重要となる．本研究は，個体情報の違いを引き起こす要因を含めて設計情報を記述する方法と個体情報を表現するモデルを定義することで，設計情報と個体情報の両面から製品LCをモデリングする手法を提案する．
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横木 弓人, 南條 佳祐, 山森 友貴, 平岡 弘之
セッションID: B22
発行日: 2014/09/01
公開日: 2015/03/01
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近年では，大量生産・大量消費型から循環型の社会への転換が急務である．本研究室では循環型社会構築のための取組としてリユースに着目し，その促進のために部品エージェントシステムを用いたユーザ支援システムの構築を行っている．ユーザ支援システム構築のためのシミュレーションにおいてはユーザ行動を決定することが重要である．そのため，本論文ではプロスペクト理論に基づいたユーザモデルを提案し，作成したので報告する．
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