MEMS加工による三次元流路の作製とそれを用いた電気浸透流ポンプの開発

寺田 善彦; 高橋 智一; 鈴木 昌人; 青柳 誠司

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_115

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: B39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_115

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主催: 公益社団法人精密工学会

MEMS加工による三次元流路の作製とそれを用いた電気浸透流ポンプの開発

*寺田善彦, 高橋智一, 鈴木昌人, 青柳誠司

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キーワード: マイクロニードル, 電気浸透流ポンプ, ハニカム構造, 採血システム

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抄録

気圧差を利用したシリンジによる吸引では吸引速度に限界があり，管径が小さいマイクロニードルでの液体吸引が困難である．本研究では大きな吸引力を得るため，毛管力，電気浸透流，高吸水性ポリマを利用した気圧差を利用しない多段ポンプを提案する．本報告では，MEMS加工によりハニカム型微細流路を多数作製し，これらの両端に電圧を加えることで電気浸透流ポンプを実現した．水と血液の吸引を行い提案するポンプの性能を評価した．

責任著者(Corresponding author)

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