ランジュバン型振動子による超音波発生機構のための圧電素子振動特性

抄録

超音波を発生させる機構のうち，数十kHz程度の低周波数から強力な超音波を得られる振動子としてランジュバン型振動子が知られている．ランジュバン型振動子はその特性から，霧化技術やソナーといった高帯域の振動が求められる分野で広く用いられている．本研究では，ランジュバン型振動子における単振動の超音波駆動源として，円環型圧電素子について電気的・機械的に評価し，振動特性の改善に関する検討を行なった．