Structure from motionを用いたSEM像からの三次元データ取得の試み

春日 博; 根本 昭彦; 水谷 正義; 伊藤 伸英; 加藤 照子; 大森 整

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_343

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: G35

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_343

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

Structure from motionを用いたSEM像からの三次元データ取得の試み

*春日博, 根本昭彦, 水谷正義, 伊藤伸英, 加藤照子, 大森整

著者情報

キーワード: 三次元データ復元, 走査型電子顕微鏡, 動画解析

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

工具形状を把握するために，Scanning electron microscope (SEM)を用いた観察は広く行われており，ダイヤモンドバイトでは，すくい面やにげ面など多方向から複数の画像を取得し，比較を行う．本研究では，複数画像から三次元形状を再構築するstructure from motion (SfM)を用いてSEM像から三次元データを取得し，工具形状の観察を試みた．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）