超精密加工面上の微細うねりの加工機上計測システムの提案

森田 晋也; 山形 豊

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_53

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: A64

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_53

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

超精密加工面上の微細うねりの加工機上計測システムの提案

*森田晋也, 山形豊

著者情報

キーワード: 微細うねり, 超精密加工, 加工機上計測

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

超精密加工面上の中間周波数形状誤差である微細うねりは，加工面の光学的な性能に影響を及ぼすが，後工程の精密研磨にて除去することが難しい．そこで本研究では微細うねりを加工機上で評価する手法として，レーザを用いた高さプローブを用いて超精密加工機上で形状計測を行うシステムを提案する．本報では本システムの構成および性能評価の結果について述べる．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）